RIX半導體/晶圓真空夾緊用旋轉接頭 EMS系列
規(guī)格：
適用流體：純水、空氣 、真空 *大壓力 ：-0.095～0.6MPa *大通路：5 *大轉速：800min-1 主要途徑與其特點：
在旋轉托盤的冷卻水IN/OUT用，晶圓真空夾緊用 空氣/真空流路可能追加
應用端設備對象：精磨/粗磨、CMP裝置
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