RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶加壓

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產(chǎn)品名稱: RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶加壓

產(chǎn)品型號(hào): MFES系列

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶加壓/MFES系列（多通道?），是專為半導(dǎo)體行業(yè)而開發(fā)的，通過使用非金屬材料或在與液體接觸的部件上施加涂層，可以創(chuàng)建一種可*大程度地減少金屬離子溶出到液體中的旋轉(zhuǎn)接頭。

RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶加壓 的詳細(xì)介紹

RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭圓晶加壓/MFES系列（多通道）

規(guī)格：

適用流體：純水、藥液、空氣、真空
*大壓力：-0.095～0.6MPa
*大通路：8
*大轉(zhuǎn)速：250min-1

主要途徑與特點(diǎn)：

可以真空·干空氣·純水·研磨液等復(fù)數(shù)流體同時(shí)流動(dòng)。
通常應(yīng)用于CMP設(shè)備

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