IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵CFD系列
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產(chǎn)品名稱:
IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵CFD系列
產(chǎn)品型號(hào):
CFD-1T-B
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵 CFD系列，用于補(bǔ)充半導(dǎo)體工藝中的強(qiáng)酸和強(qiáng)堿清洗。
IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵CFD系列
的詳細(xì)介紹
IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵 CFD系列 產(chǎn)品特點(diǎn)：
●可控制圓晶清洗濃度的控制
●優(yōu)異的耐腐蝕性
所有接液部件均由氟樹脂（PTFE、PFA、PCTFE）制成，與強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、過(guò)氧化氫等化學(xué)溶液兼容
IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵 CFD系列 產(chǎn)品參數(shù)：
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模型
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CFD-1T-B
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CFD-8T-B
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*大排放量
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1mL/次注1
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8mL/注注2
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供氣壓力
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0.15～0.3MPa
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*大耗氣量
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2.5NL/分鐘
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5.4NL/分鐘
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*大行程數(shù)
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30次/分鐘
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主要成分
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PTFE、PFA、PCTFE
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液體溫度范圍
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20~60℃
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